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深圳市夢啟半導體裝備有限公司

單面CMP拋光機

型號:DL-855/4P

該設備為單面平面化學拋光,采用先進的機械結構和多種先進控制方法,拋光加工效率高,運行穩定。

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單面CMP拋光機
設備優勢

> 本設備為單面精密拋光設備,采用先進的機械結構和多種先進控制方法,拋光加工效率高,運行穩定


> 整機采用PLC+觸摸屏控制系統,設備參數設置和操作簡單方便,系統運行穩定性高


> 主電機采用變頻調速控制,實現主機軟啟動、軟停機降低設備運行沖擊,減少工件損傷


> 工件拋光壓力采用氣缸加壓方式,通過電氣比例閥控制實現壓力的閉環控制,保證極高的施壓精度與穩定性


> 上壓盤采用主動驅動方式,在確保產品撤光速率的前提下保證各工位拋光加工的統一性


> 拋光盤與上壓盤都設置了冷卻水冷卻功能,在保證拋光液發揮最大效率的同時減少拋光盤面的變形

性能參數

CMP拋光機參數_畫板 1.jpg

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